气垫精密光学平台特点： 气垫隔振系统：隔振性能好 上等高导磁不锈钢面板：精度高不变形。 M6安装螺母，间距50*50mm或25*25mm 蜂窝结构高分子材料隔振层，固有频率低，隔振性能好 上等中碳钢墙板：钢性强、稳定可靠 高耐磨支撑调节结构：精度高、调节轻松 气垫精密光学平台规格： 1200*800*800mm 1500*1000*800mm 1800*1000*800mm 1800*1200*800mm 2000*1200*800mm 2400*1200*800mm 气垫精密光学平台参数 平面粗糙度不大于0.8微米 平面度不大于0.02毫米/平方米 固有频率不大于3赫兹 振幅不大于3微米