技术数据:
测量范围:350um 取样长度段数:1~5段可选 截止波长:0.25mm,0.8mm,2.5mm;自动选择 滤波器选择:Gau-Filter, Ls-Filter 测量速度:0.5mm/sec 轮廓分辨率:"90um,180um,350um (自动转换) 8nm,16nm,32nm(自动转换)" 测量长度(DIN/ISO):1.75mm,5.6mm,17.5mm; 移动速度(自动):1mm,2mm,4mm,8mm,12mm,16mm 测量长度(MOTIF标准):+5°C至40°C 温度范围(操作/环境):0.5mm/sec 传感器:带触针的电感式传感器,测尖2um/90°标准化设计,测力约为0.7mN 可测试参数:"Ra,Rq,Rz,Rmax,Rp,Rp(ASME),Rpm(ASME),Rpk,Rk,Rvk,Rv,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo,Rt,R3z,RPc,Rmr等值于tp(JIS,ASME),RSM,RSK,S,R,Ar,Rx,W,CR,CL,CF"