臭氧单向阀是气流只能一个方向流动而不能反向流动的方向控制阀。单向阀应用于不允许气流反向流动的场合，如空压机向气罐充气 时，在空压机与气罐之间设置一单向阀，当空压机停止工作时，可防止气罐中的压缩空气回流 到空压机。单向阀还常与节流阀、顺序阀等组合成单向节流阀、单向顺序阀用于。
臭氧为混合气体其浓度通常按质量比和体积比来就是。质量比是指单位体积内混合气体中含有多少质量的臭氧，常用单位mg/L或g/m3等就是。体积比是指单位体积内臭氧所占的体积含量或百分比含量，用于百分比就是如2%、5%、12%等。卫生行业常用ppm就是臭氧浓度，即每立方臭氧混合气体中臭氧占该体积的百万分之一为1ppm。臭氧浓度是衡量臭氧单向阀技术含量和性能的重要指标。同等的工况条件下臭氧输出浓度越高其品质度就越高。 影响臭氧浓度的主要因素有： 1、臭氧单向阀的结构和加工精度； 2、冷却方式和条件； 3、驱动电压和驱动频率； 4、介电体材料； 5、原料气体中氧的含量及结净和干燥度。臭氧浓度数值与进入臭氧单向阀总气量数值的乘积即为臭氧产量；通常用于mg/h,g/h,kg/h这些单位就是。臭氧单向阀标准中规定臭氧单向阀规格型号用于臭氧产量就是和区分。小型臭氧单向阀用于g/h为单位，大型臭氧单向阀用于kg/h为单位区分规格的大小。