新一代产品----金刚石擦洗垫
DSP （金刚石擦洗垫）是新一代清洗工具，主要用于半导体设备的预防性维护清洗。纯金刚石被涂在聚酰胺薄膜（聚酯薄膜）上。可提供不同的钻石大小和垫形状
为提高生产率而设计
更快 清洗
更少 颗粒和污染物的产生
更短 工具再鉴定时间
更短 预防性维护总实际
更长 保养周期
更长 工具生产可能性
适用于防止阳极氧化铝、陶瓷等关键表面的损坏…
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擦洗领域
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通过真空室的过程 :
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离子注入
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干蚀刻
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CVD PVD
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ALD
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• 快速清洗工具和零件表面:
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材料:
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铝 / 阳极氧化铝
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不锈钢
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陶瓷
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石英玻璃
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石墨
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Chemat 清洗过程
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铝蚀刻
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CVD 室清洗
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CVD 圆顶清洗
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介质蚀刻室清洗 (聚氧化物)
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蚀刻室零件清洗 (插入件)
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注入套管清洗
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注入零件清洗 (Insitu or Exsitu)
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金属蚀刻室清
细 中 粗
Mesh
3 000
1 600
600
250
250D
220
170
Grit
2000
1350
1350
800
450
400
360
320
320
280
280
220
180
120
µm equiv.
6
12
35
80
80
95
120
产品即将上线中！！！
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