随着硅微机械技术的不断发展,基于压阻原理的微加速度计已成为商品。因为硅的机械性能优良,这些微加速度计往往具有较高的抗过载能力。然而,有些物理过程存在相差上百倍的多个加速度值需要量测,需要调试的过载值从几g到上万g,若在整个过程用于高g 值加速度计进行量测和操控,它对低g值信号不敏感;若用于低量程加速度计,则不能**量测高过载信号;若用于2个加速度计进行量测操控,因为安装位置的区别,使其测得的信号会产生位置差别,而且2个传感器都存在安装差别。因此抗高过载复合量程加速度计更适合现代发展的需求。
复合量程微加速度计动态特性分析设计原理: 区别量程的加速度计构成的传感器阵列,可在区别工作环境下满足相应调试和操控要求,并实现多参数量测和多功能操控。