纳米级压电陶瓷定位台ＲＴ哈尔滨溶智纳芯科技有限公司

简单介绍

高速响应; 压电陶瓷驱动; 较高的重复定位精度; 纳米级位移分辨率; 机体材料分铝合金和钛合金; 具有开环和闭环两种; 采用数控、线切割等加工工艺，严格保证构结精度; 采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构；采用先进的表面处理工艺，提高了适应不同工作环境的能力

产品描述

名称：二维纳米定位平台

纳米级压电陶瓷定位台

分体组合式－Ｆ

纳米级压电陶瓷定位台

一体式－Ｑ

产品特点

高速响应;
压电陶瓷驱动;
较高的重复定位精度;
纳米级位移分辨率;
机体材料分铝合金和钛合金;
具有开环和闭环两种;
采用数控、线切割等加工工艺，严格保证构结精度;
采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构；
采用先进的表面处理工艺，提高了适应不同工作环境的能力

型号参　数	RB210S	RB225S	RB250S	RB2100S	RB2150S	RB2200S
输出轴方向	X、Y	X、Y	X、Y	X、Y	X、Y	X、Y
开环位移(０V～150V)µ[µm]±20	10x10	20x20	50x50	100x100	150x150	200x200
闭环位移[µm]	7x7	16x16	45x45	90x90	140x140	190x190
反馈传感器类型	s-应变片传感器
闭环/开环分辨率[nm]	0.25/0.5	0.5/1	1/2	2.5/5	2.5/5	2.5/5
闭环线性[%F.S]	0.05
闭环重复定位精度[nm]	±0.02	±0.04	±1.2	±2	±3	±3
刚度[Ｎ/µm]±20	80	50	16	8	5.3	4
*大推力／拉力[Ｎ]	800/200
*大负载[Ｎ]	600
侧向输出力[Ｎ]	100
运动台面倾斜角　(θyθz)[µｒａｄ]	±0.06	±0.08	±1.5	±2.0	±3.5	±4
电容量［μF］±20%	1.2	2.4	5.4	10.8	16.2	21.6
动态工作电流系数　[µA/Hz˙µm]±20	16
空载响应频率[Ｈz]±20	800	700	600	500	400	300
200克负载响应频率[Ｈz]±20	500	400	200	200	200	100
工作温度范围[℃]	-20～80
电压连接	电压:ＢＮＣ/传感器：航空插头
重量（电缆）[Kg]	0.40	0.7	1.1	1.5	2.2	2.8
机体材料	超硬铝
工作放置方式	水平应用
输出线长[m]	１.５
开环控制驱动器型号	RＨ12
闭环／开环控制器型号	RE52
选型说明：例如：RB210SF R:公司名称 B：产品系列 2：输出维数，2维，X轴和Y轴 10：大行程量10，单位微米 S：闭环选择，开环无F：分体组合型，Q代表一体式结构材料：超硬铝合金闭环：含反馈传感器输出线* 分体组合式- F结构尺寸图如下一体式- Q结构尺寸图如下

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