无尘室等级划分介绍

日期：2024-11-19 12:35

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摘要：【无尘室小知识】：依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，常可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5μm，例如，1级、10级、100级无尘室*大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0.5μm，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。简单来说，举例说明我们熟悉的无尘室的要求和环境： 1级，目前国内很少。 10级，部分无尘布工厂、晶圆工厂的部分制程、硬盘工厂的部分...

【无尘室小知识】：
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，常可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5μm，例如，1级、10级、100级无尘室*大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0.5μm，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。
简单来说，举例说明我们熟悉的无尘室的要求和环境：
1级，目前国内很少。
10级，部分无尘布工厂、晶圆工厂的部分制程、硬盘工厂的部分特殊制程。
100级，液晶屏Panel制程、硬盘工厂大部分制程、半导体测试和封装的大部分制程。
1000级，液晶屏LCM制程、硬盘工厂后道制程、半导体封装后道制程、部分电子厂部分制程。
10000级及以下，比较多场合，包括制药厂GMP车间（另多了无菌要求）。

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