光学3D轮廓测量仪工作原理

     光学3D轮廓仪是利用光学显微技术、白光干涉扫描技术、计算机软件控制技术和PZT垂直扫描技术对工件进行非接触测量，还原出工件3D表面形貌宏微观信息，并通过软件提供的多种工具对表面形貌进行各种功能参数数据处理，实现对各种工件表面形貌的微纳米测量和分析的光学计量仪器。
     光学3D轮廓测量仪只需操作者装好被测工件，在检定软件上设定物镜倍率和测量模式后点击“开始”按钮，光学物镜会对工件表面进行自动对焦和非接触扫描，并按设定的位置进行测量，软件界面会实时扫描物体宏微观表面形貌；扫描结束后，操作者可通过分析工具对生成的3D形貌进行分析，得到如轮廓、厚度、粗糙度、体积等多种表面形貌测量分析数据。