真空高效滤油机包括初滤器、真空蒸发罐、油泵、过滤装置、冷凝器（即凝汽器）和真空泵等部分。不纯净油在大气压力作用下，经初滤器进入真空蒸发罐。油被加热到60度到70度后喷入真空室，成为细小的油滴。油中的水分快速蒸发为水蒸汽，进入冷凝器冷凝后排出。未冷凝的水蒸汽则由真空泵排至大气中。汇集在真空蒸发罐底部、已经蒸发脱水的油被油泵送入过滤装置，滤去油中的固体杂质，进一步吸收掉微量水分。真空高效滤油机能显著地提高排除油中水分的效果，适用于高压电器用油的提纯。
连接好进出油管油路，接通电源，接好**地线，检查各电路是否连接可靠，关上放气阀和进油阀门。先启动真空按钮，观察真空表的指针是否走动，如不走动则电源线需要调换一下。当真空表达到负压0.06mpa时，可打开进油阀门进油，当油到油位管1/4时开始启动排油按钮，如果油位不断上涨，切记过滤的油不能吸进真空泵里，以免影响真空度，则要打开放气阀把真空度保留在负压0.06-0.08之间，然后启动加热按钮。在加热的过程中，根据真空度和水饱和曲线图设定所要加热的温度给油加热。在滤油停机前，先关加热按钮，等油循环几分钟再关真空和排油按钮，否则会影响加热管的使用寿命。在工作时，如果压力表读数≥0.3mpa时，则说明滤芯上吸有较多杂质，需要停机清洗滤芯。工作完毕后，打开放气阀，使真空度为零，否则会影响真空泵的使用寿命。