在NeoSpectra Micro微型傅里叶红外光谱仪中，所有光学和机械组件都集成在单个MEMS芯片上，从而实现芯片级FTIR功能。Si-Ware公司专有的硅集成微光系统技术(SiMOST)平台保证了单片集成技术的实现。与此同时，该公司还推出了即插即用型的NeoSpectra Micro开发套件，便于该产品快速便捷地应用在其他智能产品中。
巴西科学家研究出微型光谱仪
据麦姆斯咨询报道，巴西坎皮纳斯大学设备研究实验室的研究者与美国加州大学圣地亚哥分校的同行合作，开发了一种基于硅光子学的微型FTIR光谱仪。它可集成于无人机、智能手机，并用于化学化合物探测和温室气体远程监控等设备。该新型光谱仪的研究成果已发表于《自然通讯(Nature Communications)》杂志。Souza是该论文的主要作者，也是该项目的创立者。
由于技术上的限制，针对红外光谱的集成光子学FTIR光谱仪研究进展始终比较缓慢。Souza建立了一种激光校准方法，用以量化和校正由硅光波导色散和非线性引起的畸变。他开发出的这款基于标准硅光子制造工艺的FTIR光谱仪芯片，证明了其方法的可行性。据他描述，这款1 mm2大小的FTIR光谱仪芯片可达到与市面上便携式自由空间光学光谱仪相媲美的分辨率。
在微电子机械系统(MEMS)和ASIC技术的支撑下，傅里叶红外光谱仪的微型化逐渐变为现实。微型FTIR光谱仪不仅保持着傅里叶红外光谱仪高检测灵敏度、高测量精度、高分辨率、测量速度快、散光低以及波段宽等优点，还具有更广阔的应用领域、更多元的应用场景。如今，傅里叶红外光谱仪的微型化研究项目正在大力开展，且已取得良好成果，假以时日，微型化FTIR光谱仪定能在更多领域发挥作用，相关行业发生变革。