1、接通220V电源，打开“电源锁”，微水测量仪的电源指示灯亮，电路接通。
2、打开“运行开关”，运行指示灯亮，微水测量仪运转。
3、5-10分钟后，打开“测量开关”，测量指示灯亮，探枪窗口有紫色光发出；若无光亮发出，预热几分钟后，探枪窗口会发出紫色光亮。
4、把“调档旋钮”打到“自校”处，仪器需预热10-15分钟，指针回到20格以下，说明微水测量仪正常，可以检测。否则，可能微水测量仪出现异常可周围环境里SF6气体太多。
5、把“调档旋钮”打到所需要的灵敏度处，然后用“调零旋钮”把微水测量仪的指示调整到零。
6、向零方向调整报警旋钮为临界值，仪器发出声音报警。
7、满足上述要求表示微水测量仪具备了测量条件，可以进行SF6气体的定性和定量检漏。
9、当发现泄漏点时，微水测量仪发出报警声，报警指示灯闪烁，指针发生偏转，从仪表上可以得出SF6泄漏的测量值，然后查标准曲线得出SF6泄漏浓度，通过计算得出年泄漏率。