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晶圆检测显微镜(成像分析)52XA-1200M成都西野
晶圆检测显微镜(成像分析)52XA-1200M成都西野
一、产品介绍:
晶圆检测显微镜52XA-1200M采用了当今*为先进的光学显微镜与现代成像分析融为一体的图像测量技术,主要用于光伏行业太阳能电池硅片、LED芯片、IC芯片、半导体晶圆、液晶板、ITO导电玻璃、印刷线路板等结构或表面缺陷检测,系统配置了三目大工作台正置金相显微镜52XA、1200万高清晰数字摄像头及图像测量管理软件,可对硅片芯片图像进行拍照、测量、编辑和保存输出等多种操作。
晶圆检测显微镜52XA采用上等的光路系统,配置了落射与透射照明系统、长距平场消色差物镜、内置偏光观察装置,具有图像清晰、衬度好,造型美观,操作方便等特点。
二、系统配置:
序号 |
配置名称 |
主要规格参数 |
1 |
三目正置金相显微镜52XA |
50-800X |
2 |
1200万高清晰数字摄像头 |
1200万像素,图像测量软件 |
3 |
摄像接口MCL |
1X或者0.5X |
4 |
标尺 |
0.01mm |
三、显微镜技术参数:
序号 |
名称 |
技术参数 |
01 |
平场目镜 |
大视野 WF10X(Φ18mm) |
02 |
长距平场物镜 |
PLL5X/0.12、10X/0.25、20X/0.40、40X/0.60、80X/0.80 |
03 |
总放大倍数 |
50X-800X |
04 |
观察头 |
三目镜,倾斜30˚,(内置检偏振片,可进行切换) |
05 |
转换器 |
五孔 (外向式滚珠内定位) |
06 |
调焦范围 |
粗微动同轴, 微动格值0.7μm, 粗动松紧可调,带锁紧和限位装置 |
07 |
载物台 |
三层机械移动式尺寸: 280mmX270mm,移动范围: 204mmX204mm |
08 |
光瞳距离 |
53-75mm |
09 |
滤色片 |
蓝、磨砂 |
10 |
落射照明系统 |
6V 20W卤素灯,亮度可调 |
带视场光栏、孔径光栏、起偏振片,(黄,蓝,绿)滤色片和磨砂玻璃 |
||
11 |
仪器重量 |
净重11.0公斤 毛重12.5公斤 |
12 |
仪器尺寸 |
仪器尺寸42X45X45(cm) 包装尺寸45X50X50(cm) |
晶圆检测显微镜(成像分析)52XA-1200M成都西野
晶圆检测显微镜(成像分析)52XA-1200M成都西野
晶圆检测显微镜(成像分析)52XA-1200M成都西野