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为了满足客户的要求，我们改进了以下项目。
（1） 为了测量强度，我们已将**部分更改为 SUS 材料。
（2） 添加了用于定位晶圆的有用指南。
※原型托架用在外周定位，因此没有准则。

传统的手动钳子、真空钳子和伯努利夹头输送夹具现在可用于运输智能手机玻璃底座、平板电脑玻璃底座和大型玻璃底座。
我们提供一系列产品，可根据触点、非接触式输送和应用进行选择。

图为使用手动钳子从底座输送托架中取出智能手机玻璃底座的示例。

图为使用手动钳子运输平板电脑玻璃底座的示例。

图为使用真空钳子从底座输送托架中取出智能手机玻璃底座的示例。
空气源由本公司制造，使用小型真空泵FV30型。

这张照片显示了一个用真空钳子输送平板电脑玻璃底座的示例。

使用伯努利夹头，您可以非接触式运输智能手机的玻璃底座。

使用伯努利夹头，您可以非接触式运输平板电脑的玻璃底座。

对于玻璃基板，我们提供两种类型的伯努利恰克阀。 开关（按钮）可从正常打开和滑动锁中选择。 对于大型玻璃基板，我们建议使用滑动锁。
此外，伯努利恰克可以设计和制造所需的基础尺寸。

左图为伯努利夹头，对应于玻璃基板尺寸 300×350mm。

可用于吸附和输送附着有水的晶圆和吸附物。
材料由透明的甲基丙烯酸树脂制成，内部可以确认，而且结构厚，以获得适当的质量。

非常适合与我们的真空泵结合使用。

平架支架阵容作为伯努伊恰克的选项。
建议使用舞台来保护塞子和导轨主体。

5 英寸和 6 英寸（小）
伯努利夹头平放支架
代码 No.BCS-M

8 英寸，12 英寸（大）
伯努利恰克平放支架
代码 No.BCS-L

该装置用于性能测试，用于长时间重复吸附和分离 ±0.7 金属球。
作为应用示例，我们认为可以使用各种测试设备，如使用小物品放大镜的检测设备，以及用于移动对齐的运输。

该装置的空气驱动动力使用久经考验的本公司制造的FV-XP型气缸驱动用泵产生适当的气压。 由于空气压力低，您可以放心地使用它，而不必担心夹住手指。 此外，吸附分离泵也使用本公司制造的FV-W型，表现出稳定的吸附和脱离性能。
驾驶的声音也非常安静。

传统的多孔**有一个尖锐的投影。
因此，通过提升放置在平面上的吸附物并将其插入间隙中，可以轻松进行吸附输送。

在杠杆型手动钳子上安装用于支撑晶圆的叉子。
它在保持薄晶圆方面非常强大。

继 450mm 手动钳子之后，我们还为 12 英寸提供 2 系列手动钳子。
连接部分的材料由MC尼龙制成。

原型托架的伯努利主体的导塞（4个位置）的材料改为导电性。

连接伯努利主体和阀门部分的部件已改为 SUS。 因此，与传统产品相比，强度增加。

可通过凸轮切换将凹口定位设置在上下任意一个位置。
● φ3PEEK滚轮可轻松更换 。
- 也可支持薄 300 微米级晶圆。

了解有关“凹槽对准器（电动自动类型）”的更多信息

非常适合从原型载体中取出 300 微米级晶圆。
芯片使用 66 号多孔芯片。 此外，我们还准备了处理指示器，可在吸附时目视检查，以免损坏晶圆。

通过连接两对 12 英寸的手动钳子，我们为 450mm 制造了手动钳子。
连接部分的材料由MC尼龙制成。
主体重量：200g

由于各种原因，8 英寸导电扇形多孔芯片 No.68 和 12 英寸导电扇形多孔芯片 No.69 的两种型号将停止生产。
销售的宽限期为三个月，将于7月底结束。
对于给您带来的不便，我们深表歉意，但感谢您的理解。

使用大直径主体实现稳定的输送。
主体重量为900g。

与传统产品相比，刀片形状更大，运输更稳定。 吸附芯片由导电PEEK和PEEK制成。
照片中的真空钳子使用大直径 C112-C-Y-171。
质量为130g芯片和80g主体。
我们还提供大直径真空泵（FV-XP 和两个连接类型）作为空气源。

除了传统的弯曲加工外，还可以弯曲曲柄。

←传统弯曲产品

此开关可以可靠、轻巧地操作，旨在自由使用双手，以适应吸附物的放置方式。
我的指尖比操作更自由。 （POM树脂制）

可以运输薄晶圆，而不会造成过大的压力。

新开发的带软塞的伯努利夹头现在可以从垂直晶圆容器中非接触式取出，这以前是困难的，更不用说水平输送了。
在伯努利效应的作用下，防止晶圆掉落的软塞现在可以轻松地从垂直容器中以非接触方式取出晶圆。
晶圆尺寸为 6 英寸和 8 英寸。

带软塞的伯努伊夹头也可用于脚踏开关。

我们还提供带软塞的伯努伊夹头过滤器。

芯片由 PEEK 制成，可稳定地保持 450mm 晶圆的中心。

释放真空钳的吹出功能已添加到传统的潜水吸附泵系统中。
由于水分的影响，可以强制分离不再分离的晶圆，从而有助于提高工作效率。

安装在真空钳子和盖之间。
通过喷水器中的白色销上下移动，可以目视检查吸附物的可操作性。
可用于 F 系列和 C 系列共享。

指南针支点从金属改为导电尼龙，以减轻重量。 此外，指南针主体和垫之间的橡胶直径增加，便于安装。

我们改变了保护晶圆外边缘的结构。
* 这个地方的产品将是平放和平放的运输。

太阳能电池板（照片上）和厚度为100微米的薄板（照片下方）等，通过三点支撑牢牢抓住，可以吸附输送。

我们开发了真空钳子，通过吸附玻璃基板等重物进行运输。

它是比传统产品更简化的类型。
真空泵使用一个 FV-XP，吸入罐使用丙烯酸管。 当吸水达到一定量时，泡沫浮子被推上，真空阀打开，水箱中的真空被破坏，吸水立即停止。 这种机制可防止水进入泵。
此外，通过简化机构部件，我们实现了经济的价格交付。

缓冲材料安装在焊盘的根部，以便与曲面的吸附表面配合，以便沿曲面轻松弯曲，以便轻松捕获对象。

湾曲した薄いウエハーでも両端をしっかりキャッチできます。

伯努利推杆泵系统可在任何有电源的地方使用，并非接触式运输。 新开发的**吸附部分通过精密加工在导电塑料中制造出吸附效率*高的结构。 当气体从推杆表面的喷射孔喷射时，工件会因气体的粘度而向上拉，从而产生伯努利效应的吸附力。 这是一个革   命性的产品，利用这一点。
■特长■

• 内置肝过滤器的超小型压缩机和伯努利帕特的组合，可在桌面上轻松进行非接触式输送。 （约20mm方形）
• 操作单元是铅笔型小型空气阀，可像触摸笔一样轻松操作。
• 采用导电氟橡胶制成的冠形止动器，防止工件在吸附和输送过程中弹出。
• 考虑到静电对策，主体中使用的材料是导电树脂。

当气体从主体表面的喷射孔向上喷射到工件之间时，由于气流的粘度，工件被向上拉，同时产生伯努利效应产生的吸附力。 这是一个革   命性的产品，允许非接触式晶圆的吸附和输送。
从垂直到平放，从平放到垂直放置也很容易。 此外，铅笔型小型空气阀重量轻，耐久性高，使用导电树脂进行防静电。

芯片是一种新结构，在水平扇形的吸附表面上排列了两个小直径孔，在背面形成吸入通道，并用拜顿橡胶的 O 形环密封。 即使在不强的真空压力下也能提供强大的吸力，无需在晶圆中心吸附，只需在外周部即可**吸附。 因此，由于吸入导管较短，无需将吸附部分插入中心，因此存在与相邻晶圆接触的可能性。
使用的材料是海珀里·卡塔利西斯的CNTPEEK树脂。

钳子主体由导电尼龙树脂制成。 灵活的 SUS 线导电 PVC 管可操作地连接到泵侧，并接地接地套件，以减少电子元件等静电引起的故障，并在分离微小物体时显著有效。 **通过安装新开发的导电氟橡胶（拜顿）推杆实现了高质量的静电对策。

氟橡胶（拜顿）具有优异的耐化学性和耐热性，具有导电性，实现固有体积电阻值106。 防止静电的不利影响。 非常适合薄膜的运输，拆卸和拆卸也非常顺利。

与导电聚氨酯管相比，它是一种柔软的直管，长度为 2 米，通过 SUS304 导线（0.3mm）穿过透明 PVC 管，具有柔软、可操作性，两端都通过导电连接器连接。 通过在泵侧安装接地组来消除静电。

它比传统的树脂喷嘴软得多，可以在不损坏吸附剂的情况下输送。
吸附物的吸附脱离控制自由自在。
与真空泵 FV-W 和真空钳 F007 结合使用。