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新闻详情
日本福乐FLUORO非接触式晶圆传输伯努利卡盘 BC 系列
日期：2024-12-23 01:45
浏览次数：334
摘要：用于晶圆输送的Bernoil Chuck BC系列Bernoil Chuck利用Bernoil原理，通过喷出空气，产生更强大的吸力。输送物与伯努卡盘的表面端点接触，不旋转，并且可以在非接触状态下以稳定的保持力输送晶片中心。为了用一个本体部对应各晶片尺寸而设计。
非接触式晶圆传送伯努利卡盘BC系列的特点
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主体可选择20度、45度、90度，水平放置的BC-K系列支持2英寸至12英寸。
（使用角度是固定的，不改变主体就无法改变使用角度。） - 由于导向挡块具有轻微的锥度，因此晶片的边缘会在一点处接触。
- 由抗静电聚碳酸酯制成的导向环可以目视确认定位和吸附状态。
- 主体采用导电尼龙树脂，实现了轻量化。
- 它可以处理双面印刷有图案的晶圆，以及难以处理的薄至 50μm 的晶圆。
- 我们还支持与目标对象相匹配的定制设计产品，例如方形。
- 由于伯努利卡盘使用高压，出于**考虑，我们建议使用按钮朝下，就像气 枪一样。（请参阅左图。）
非接触式晶圆传输伯努利卡盘 BC 系列的工作原理
当晶圆放置在导向环的四个白色销钉内并按下启动按钮时，晶圆会浮起并接近中心。之后用黑色方销固定，可以无接触运输。
非接触式晶圆传输伯努利卡盘 BC 系列产品概述
◆请从20度、45度、90度中选择主机。通过更换导向环可以处理各种晶圆。导环更换也很容易。
为了保证真空镊子能够长期安心使用，我们进行了长期阀门耐久测试，每天重复开关按钮8小时。
在0.3Mpa气压下进行。
