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特征:
测微头固定在上方,专用于垂直平面(墙面等)的安装。
在钢制平台主体(下板)与移动台(上板)上对直接加工导轨,淬火后,进行导轨研磨。
导轨为R型槽,钢珠以4点接触的方式在导轨槽内滚动,对于来自所有方向的负荷,均具有稳定的负载能力。
加工、组装误差极小,可实现高精度、平滑的移动。
Z轴的操作部位于上方,因此不受安装方向的限制,具有很好的操作性能。
极大地降低了平台高度(厚度)。
技术参数:
型号 |
台面尺寸 |
行程 |
螺距 |
移动精度直线度 |
移动平行度 |
垂直度 |
*小读数 |
*小分辨率 |
承载能力Fz' |
*大承载力矩Fx' |
*大承载力矩Fθ' |
刚度Fx" |
自重 |
TSD-251SZ |
25 x 25 |
±3 |
0.5 |
0.002 |
0.01 |
0.01 |
0.01 |
0.003 |
9.8 (1.0kgf) |
1 |
0.7 |
1.63 |
0.07 |
TSD-251SRZ |
25 x 25 |
±3 |
0.5 |
0.002 |
0.01 |
0.01 |
0.01 |
0.003 |
9.8 (1.0kgf) |
1 |
0.7 |
1.63 |
0.07 |
TSD-251SZFP |
25 x 25 |
±3 |
0.25 |
0.002 |
0.01 |
- |
- |
0.002 |
9.8 (1.0kgf) |
1 |
0.7 |
1.63 |
0.07 |
TSD-401SZ |
40 x 40 |
±6.5 |
0.5 |
0.002 |
0.01 |
0.01 |
0.01 |
0.003 |
19.6 (2.0kgf) |
1.3 |
1.3 |
0.31 |
0.2 |
TSD-401SRZNEW |
40 x 40 |
±6.5 |
0.5 |
0.002 |
0.01 |
0.01 |
0.01 |
0.003 |
19.6 (2.0kgf) |
1.3 |
1.3 |
0.31 |
0.2 |
TSD-401SZFP |
40 x 40 |
±6.5 |
0.25 |
0.002 |
0.01 |
- |
- |
0.002 |
29.4 (3.0kgf) |
1.3 |
1.3 |
0.31 |
0.2 |
TSD-601SZ |
60 x 60 |
±6.5 |
0.5 |
0.002 |
0.01 |
0.01 |
0.01 |
0.003 |
29.4 (3.0kgf) |
1.5 |
1.5 |
0.2 |
0.5 |
TSD-601SRZNEW |
60 x 60 |
±6.5 |
0.5 |
0.002 |
0.01 |
0.01 |
0.01 |
0.003 |
29.4 (3.0kgf) |
1.5 |
1.5 |
0.2 |
0.5 |
TSD-601SZFP |
60 x 60 |
±6.5 |
0.25 |
0.002 |
0.01 |
- |
- |
0.002 |
29.4 (3.0kgf) |
1.5 |
1.5 |
0.2 |
0.5 |