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第9年
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产品详情
简单介绍：
以下为日本KONSEI近藤WHA-200AS叶片型晶圆卡爪特点：
根据客户的式样制作设计制作。实际经验丰富，请先向您咨询。边缘夹紧，不接触表面。
■固定载波
适合所有搬送的事，可以对应所有的搬的姿势。防止装置的高速化防止笔芯。
■晶圆表里非接触
只有边缘接触，一点不担心伴随着和吸附伴随的触控。
■清洁度班1对应
■WHA系列
侧臂侧侧驱动
以上为日本KONSEI近藤WHA-200AS叶片型晶圆卡爪的特点介绍
详情介绍：
以下为日本KONSEI近藤WHA-200AS叶片型晶圆卡爪特点：
根据客户的式样制作设计制作。实际经验丰富，请先向您咨询。边缘夹紧，不接触表里方面。
■固定载波
请给所有搬送的事，可以对应所有的搬的姿势。防止装置的高速化防止笔芯。
■晶圆表里非接触
只有边缘接触，有一点不担心伴随着和吸附伴随的触控。
■清洁度班1对应
■WHA系列
侧臂侧侧驱动
以上为日本KONSEI近藤WHA-200AS叶片型晶圆卡爪的特点介绍
お客様のご仕様に合わせて設計製作します。実績豊富、まずはお問い合わせください。エッジクランプだから表裏面に接触しません。
■固定搬送
クランプして搬送することで、あらゆる搬送姿勢に対応可能です。装置の高速化に伴う芯ズレを防止します。
■ ウエハ表裏に対して非接触
エッジのみに接触し、クランプ・吸着搬送に伴うパッド痕の心配がありません。
■ クリーン度クラス1対応
■WHA シリーズ
サイドアームのみの片側駆動式エッジクランプ
以下为日本KONSEI近藤WHA-200AS叶片型晶圆卡爪的参数：
仕様
| 型式 | ＷＨＡ-200ＡＳ | ＷＨＡ-300ＡＳ | ＷＨＡ-450ＡＳ | |
|---|---|---|---|---|
| 搬送ワーク | ウエハ | |||
| ワークサイズ | φ200 | φ300 | φ450 | |
| 搬送方式 | エッジクランプ | |||
| 搬送枚数 | １枚 | |||
| 駆動方式 | 閉方向 | スプリング（クランプ方式） | ||
| 開方向 | バーキューム圧－60KPa ～95KPa （負圧シリンダ採用） | |||
| 動作ストローク | 10 ㎜ （クランプ7㎜ クランプシロ3㎜） | |||
| 把持力 | ２ ．４Ｎ ～１．９Ｎ | 約７N | ||
| クリーン度 | FED 規格 クラス１ （吸引要） | |||
| フォーク材質 | ＣＦＲＰ | |||
| 駒・仮受け座・パット | ＰＥＥＫ | |||
| 本体重量 | 約0.4Kg | 約0.5Kg | 約1.7Kg | |
| オプション | 開閉確認センサー | |||
