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SIMCO ION 扩展ISO Class 1,10nm棒式离子发生器AeroBarMP Model 5635
5635型Aerobar MP静电消除器是一款超低颗粒兼容产品，用于要求精细颗粒管理小于等于100nm的场所的静电消除，包括先进的半导体制造工艺。
扩展ISO Class 1,10 nm？
特点
规范
5635型AeroBar MP
输入电压
24 V DC +/- 10％
输出电压
高达约13.5kv pp可调
安装距离
100毫米至1000毫米（无空气吹扫）
离子生成方法
电晕放电方式
MP（脉冲调制）方式调制频率1〜33Hz
离子平衡
自动平衡调整方法
<+/- 10 V由于位置正下方的位置差异<+/- 10 v
（600 mm距离）
电极
单晶硅电极可交换
吹扫气体
清洁干燥空气或N 2
*大吹扫压力
310 Kpa
臭氧量
<0.05 ppm（24小时积分值）
信号输出
报警IO开集输出
维
高度78毫米x深度34毫米x长度如下
450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350
毫米
外观
ABS树脂
关于扩展ISO等级1,10纳米？ION Systems专门定义了清洁度的定义，以便应对精细的颗粒管理。ISO 14644-1定义为*小粒径为100 nm。扩展ISO Class1,10nm并且使用颗粒的计算公式和ISO14644-1及其允许颗粒的数目的同一允许数将是1200pc /立方米（34 PC /立方英尺 ） 至少一个粒径10nm的
