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  • 产品名称:SIMCO ION 扩展ISO Class 1,内嵌N 2离子发生器型号,兼容10 nm Model 4214

  • 产品型号: 4214
  • 产品厂商:SIMCO ION
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简单介绍:
SIMCO ION 扩展ISO Class 1,内嵌N 2离子发生器型号,兼容10 nm Model 4214 SIMCO ION 扩展ISO Class 1,内嵌N 2离子发生器型号,兼容10 nm Model 4214
详情介绍:

SIMCO ION 扩展ISO Class 1,内嵌N 2离子发生器型号,兼容10 nm Model 4214

即使在高纯度N 2环境下,4214型静电消除仪也支持“扩展ISO等级1,10nm”的高清洁度,并实现出色的离子平衡。

特点
  • 采用超低颗粒单晶硅电极。
  • 采用独特的清洁机制,不会将颗粒释放到外部,确保稳定的长期清洁
  • 采用不需要任何调整的智能控制电路
  • 内置传感器不断监测离子产生,以实现可靠的静电消除
  • 集成紧凑型设计,内置控制器和电源
  • 自动高压关闭功能可在低流速下保护产品
  • 超低颗粒应用的理想选择,如先进的半导体制造工艺
  • 24 V DC驱动器
 
规范
输入电压 24 V DC +/- 5%6 W(典型值)。
离子平衡 <+/- 25 V 150 mm距离40 LPM无管道连接
静电消除时间 <10秒150毫米距离40 LPM无配管连接
+/- 1 kv→+/- 100 v取决于充电板显示器
离子生成方法 电晕放电型高频交流系统
清洁程度 ISO等级1,0.1微米“扩展ISO等级10nm”*
电极 单晶硅可交换
相应的吹扫气体 N 2> 99.998%
流量 40 LPM(36.5 Kpa)至90 LPM(171 kPa)
*大吹扫压力 207 Kpa(= 100 LPM流量)
*高气体温度 60摄氏度
N 2吹扫连接 世伟洛克3/8“外径管道
电离N 2连接
世伟洛克1/2“外径管道连接,带1 / 4NPT内螺纹连接器或可选接头28-25710-SC
工作温度范围 15至60摄氏度
信号输出 打开/关闭触点时的报警和离子减少输出
长度152.4毫米x宽度72.4毫米x深度32毫米不包含
管道部分
重量 640克
外观 不锈钢
安装方法 背面M5螺丝螺丝长度小于10毫米

关于扩展ISO等级1,10纳米
?ION Systems专门定义了清洁度的定义,以便应对精细的颗粒管理。ISO 14644-1定义为*小粒径为100 nm。扩展ISO Class1,10nm并且使用颗粒的计算公式和ISO14644-1及其允许颗粒的数目的同一允许数将是1200pc /立方米(34 PC /立方英尺 ) 至少一个粒径10nm的

 


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