产品名称：四川成都供应日本SIGMA KOKI西格玛光机精密（压电陶瓷）平台SFS-60YAW(OP）

四川成都供应日本SIGMA KOKI西格玛光机精密（压电陶瓷）平台SFS-60YAW(OP）

产品品牌：西格玛(SIGMA KOKI )
品牌简介：SIGMA KOKI日本西格玛光机株式会社1977年4月创立,SIGMA KOKI日本西格玛光机集团有6个研发,生产和销售据点.同时,还有4个关联子公司(两个在日本,在美国和中国各一个).公司所有部门都取得了ISO9001:2008和ISO14001:2004 认证.

日本西格玛精密（压电陶瓷）平台SFS-60X(CL)

特征：四川成都供应日本SIGMA KOKI西格玛光机精密（压电陶瓷）平台SFS-60YAW(OP）

SFS 系列平台是我们*新开发的，利用了弹性变形和压电陶瓷驱动件的超精密定位平台。其中，有部分产品内置了位移传感器可以实现闭环控制，可以实现20nm 的分辨率，90μm 行程，320μm 的手动粗调。

我们采用了无空行程的金属弹性变形机构，以及5-6 倍的压电陶瓷变形放大机构。并采用我公司的超精密加工技术进行生产制造。

注意四川成都供应日本SIGMA KOKI西格玛光机精密（压电陶瓷）平台SFS-60YAW(OP）

所有数据的测量温度环境为摄氏20 ± 1 ℃。使用前，请仔细阅读使用说明书和安装说明书。

所有数据均为单个平台的数据，而非组装后的复合体，“复合”平台。

所有数据均为许用载荷内的值，而且载荷在平台中心，无偏载。

所有数据均为在上面板上的值。

行程为开环控制时的数据。

直动平台的重复定位精度值是采样时间为350µs 时的闭环控制时的值；对于转动平台和摆动平台，则是开环控制时的值。

分辨率是使用FINE-01，503 时的数据。

采用FINE 控制器，改善了闭环控制时的直线性。

CL：采用位移传感器的闭环控制平台／ OP：无位移传感器的开环控制平台

规格：四川成都供应日本SIGMA KOKI西格玛光机精密（压电陶瓷）平台SFS-60YAW(OP）

 

型号	行程（粗调）	行程（细调）	自重 [kg]	承载能力 [N]	理论分辨率（开环）]	分辨率（闭环）	重复重复定位精度 [μm]	Y轴方向直线度 [μm]	Z轴方向直线度 [μm]
SFS-60X(CL)	320±10% （μm)	90±10% （μm)	0.37	9.8 （1kgf)	1 （nm	20 （nm)	0.1	1	0.5
SFS-60YAW(OP	57±15% （分)	900±15% （秒)	0.31	9.8 （1kgf)	0.01 （秒)	－	－	－	－
SFS-60RP(OP)	25±15% （分)	215±15% （秒)	0.38	9.8 （1kgf)	0.005 （秒)	－	－	－	－

 四川成都供应日本SIGMA KOKI西格玛光机精密（压电陶瓷）平台SFS-60YAW(OP）