从人净用室进入洁净生产区后，如果洁净面积较大的厂房，一般先经洁净通道再分散进入各洁净生产用室；厂房面积不大时，人净用室应集中布置在有利于面积使用和日常管理的区域。若厂房的面积较大，或厂房内有多种洁净度等级的洁净室，或者是厂房中按工艺要求有一般生产和洁净生产时，可以将其中的换鞋、脱存外出服等集中设在厂房总附近，而将吹淋室，穿洁净工作服室等分别紧靠所服务的洁净生产区来安排，需要特别指出的是：人净用室中的洁净工作服室、吹淋室或气闸室必须毗邻洁净生产区布置，以避免更换后的工作服受到污染。人净与生活用房的净高同厂房的生产部分比较接近，平面尺寸也较灵活，同生产用室*结合，洁净生产区为无窗区的情况下，应使人净用室和生活用室的同厂房的组合中，能充分借景于室外的庭园与自然风光，创造良好的劳动条件，提高劳动效率。
净化用室宜包括雨具存放室、换鞋室、存外衣室、浴洗室、洁净工作服室和气闸室（或空气吹淋室）等。100级、10000级洁净区的人员净化用室中，存放外衣室和洁净工作服室应分设置，外衣存放柜和洁净工作服柜按大班人数每人一柜设计，浴洗室应设洗手和**设施，并应安装自动烘干器，而且水龙头的开启方式以不直接用手开启为宜，水龙头个数按大班人数每10人设一个。为了保持洁净生产区的空气洁净度并维持室内正压，在洁净生产区的处应设置气闸室或空气吹淋室，气闸室有两个以上的出入门，并且应有防止同时开启的措施，门的联锁可采用自控式、机械式或信号显示等方式。气闸室也可用空气吹淋室代替，同样，空气吹淋室使用时也不能将出入门同时开启，设置单人吹淋室时，宜按大班人数每30人一台设置，当洁净区域人员*过5人时，空气吹淋室的一侧应设旁通门，供下班或应急时使用。