余压阀控制是通过调节安装在洁净室的余压阀上的平衡压块，从而改变余压阀的开度，实现室内正压控制；差压变送器控制是用差压变送器检测室内压力，自动控制必要的回风量；微机控制是在对正压值各不相同的多个房间进行正压控制时，利用微机和电动风阀控制不间的送风和回风，可使控制系统简单化。在洁净室中，如果新风量不足，工作人员将有气闷、头晕等不舒适的发生；为了满足工作人员的卫生要求，保证工作效率，洁净室中要供给足量的新风；为了补偿洁净室中的工艺设备排风，洁净室需要补偿相应的新风；为了保证洁净室的洁净度免受邻室或外界的污染以及洁净室中的产品或产品生产过程的致敏性物质等对邻室的影响，洁净室需要维持一定的压差值，这也需要新风的补充。因此洁净室所需的新凤量应满足：作业人员健康所需新鲜空气量；维持静压差所需补充风量；补充各排风系统的排风所需新风量。