自动充气平衡精密光学隔振平台

型号：AODJ-HGPT-C

特 点：

本系列平台是在JC15-HGPT-B型光学隔振平台的基础上增加自动平衡功能, 采用空气伺服系统, 自动调整水平,台面的高度由空气调节阀在桌面运动的激励下维持和控制，把系统对微振的响应反馈到系统中, 改变隔振特性,当负载沿工作表面移动或发生突然变化时能够使台面自动维持水平.瞬间达到初始的平衡状态,提高光学隔振平台的隔振效果

主要参数：

·平面不大于0.05mm/m

·表面粗糙度小于0.8um

·固有频率垂直1.2Hz-1.8Hz，水平1.2Hz-1.8Hz

·振幅不大于1.2um

·重复定位精度±0.05mm

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