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- 产品名称:全自动氦质谱检漏仪
- 产品型号:JL-142W(D)
- 产品展商:德国普发
- 发布时间:2020-12-22
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简单介绍
全自动氦质谱检漏仪设备内
芯的制造借鉴国外先进技术,整机设
置合理、性能稳定。具有灵敏度高,
反应快,开机时间短等特点。检漏效
果达到国外先进水平。
产品描述
全自动氦质谱检漏仪
JL-142W(D)型是一款液晶触摸
彩屏显示的全自动氦质谱检漏仪。主
要配置采用检漏仪定制产品。
主要技术指标
1、真空模式*小可检漏率:5×10 -13Pa•m3 /s(5×10 -12mbal/s)
真空模式漏率显示范围:1×10 -1—1×10 -13Pa•m3 /s
2、吸**式*小可检漏率:5×10 -9Pa•m3 /s(5×10 -8mbal/s)
吸**式漏率显示范围:1×10 -1—1×10 -10Pa•m3 /s
3、启动时间:≤3min
4、响应时间:≤0.5s
5、检漏口的*高压力:1500Pa
6、电源要求:220v,50Hz,单相,10A
7、工作环境:5-35℃
9、相对湿度:≤80%
9、外形尺寸:500(W)×400(D)×380(H)
10、重量:W 型 42kg,D 型 22kg
主要配置
1、德国普发检漏仪专用分子泵(原装进口)
2、W 为油式机械泵,D 为干式机械泵
3、定制检漏仪专用电磁阀
4、专用阀体
5、原装晶圆放大器
6、采用质谱专用模块
7、液晶触摸彩屏
8、双灯丝(氧化钇金丝),自动调氦峰,自动切换
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