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功能特点
A.一体化测试，集成度高、体积小、效率高
一台仪器内置了LCR数字电桥、VGS电压源、VDS电压源、高低压切换矩阵以及上位机软件，将复杂的接线、繁琐的操作集成在支持电容式触摸的Linux系统内，操作更简单。特别适合产线快速化、自动化测试。
B.单管器件测试，10.1寸大屏，四种寄生参数同屏显示，让细节一览无遗
MOSFET或IGBT*重要的四个寄生参数：Ciss、Coss、Crss、Rg，Cies、Coes、Cres、Rg均可一键测试，10.1寸大屏可同时将测量结果、等效电路图、分选结果等重要参数同时显示，一目了然。
一键测试单管器件器件时，无需频繁切换测试脚位、测量参数、测量结果，大大提高了测试效率。
C.列表测试，多个、多芯、模组器件测量参数同屏显示
TH510系列半导体C-V特性分析仪支持*多6个单管器件、6芯器件或6模组器件测试，所有测量参数通过列表扫描模式同时显示测试结果及判断结果。
D.曲线扫描功能（选件）
在MOSFET的参数中，CV特性曲线也是一个非常重要的指标，如下图
TH510系列半导体C-V特性分析仪支持C-V特性曲线分析，可以以对数、线性两种方式实现曲线扫描，可同时显示多条曲线：同一参数、不同Vg的多条曲线；同一Vg、不同参数多条曲线。
E.**的接触检查（Contact）功能，提前排除自动化测试隐患
F.**的快速通断测试（OP_SH）,排除损坏器件
在半导体器件特性测试时，由于半器件本身是损坏件，特别是多芯器件其中一个芯已经损坏的情况下，测试杂散电容仍有可能被为合格，而半导体器件的导通特性才是*重要的特性。
因此，对于本身导通特性**的产品进行C-V特性测试是完全没有必要的，不仅仅浪费了测量时间，同时会由于C-V合格而混杂在良品里，导致成品出货后被退回带来损失.
TH510系列半导体C-V特性分析仪提供了快速通断测试（OP_SH）功能,可用于直接判断器件本身导通性能。
G.**模组式器件设置，支持定制
针对模组式器件如双路（Dual）MOSFET、多组式IGBT，有些器件会有不同类型芯片混合式封装;TH510系列CV特性分析仪针对此情况做了优化，常见模组式芯片Demo已内置，特殊芯片支持定制.
H.简单快捷设置
I.10档分选及可编程HANDLER接口
J.支持定制化，智能固件升级方式
同惠仪器对于客户而言是开放的，仪器所有接口、指令集均为开放设计，客户可自行编程集成或进行功能定制，定制功能若无硬件更改，可直接通过固件升级方式更新。
仪器本身功能完善、BUG解决、功能升级等，都可以通过升级固件(Firmware)来进行更新，而无需返厂进行。
固件升级非常智能，可以通过系统设置界面或者文件管理界面进行，智能搜索仪器内存、外接优盘甚至是局域网内升级包，并自动进行升级
K.独特技术解决Ciss、Coss、Crss、Rg产线/自动化系统高速测试精度
同惠电子在电容测试行业近30年的经验积累，得以在产线、自动化测试等高速高精度测试场合，都能保证电容、电阻等测试精度。
常规产线测试，提供标准0米测试夹具，直插器件可直接插入进行测试，Ciss、Coss、Crss、Rg测试精度高。
针对自动化测试，由于自动化设备测试工装通常需要较长连接线，大多自动化设备生产商在延长测试线时会带来很大的精度偏差，为此，同惠设计了独特的2米延长线并内置了2米校准，保证Ciss、Coss、Crss、Rg测试精度和0米测试夹具一致。
L.半导体元件寄生电容知识
在高频电路中，半导体器件的寄生电容往往会影响半导体的动态特性，所以在设计半导体元件时需要考虑下列因数
在高频电路设计中往往需要考虑二极管结电容带来的影响；MOS管的寄生电容会影响管子的动作时间、驱动能力和开关损耗等多方面特性；寄生电容的电压依赖性在电路设计中也是至关重要，以MOSFET为例。
M.标配附件
- 应用
-
■ 半导体元件/功率元件
二极管、三极管、MOSFET、IGBT、晶闸管、集成电路、光
电子芯片等寄生电容测试、C-V特性分析
■ 半导体材料
晶圆切割、C-V特性分析
■ 液晶材料
弹性常数分析
■电容元件
电容器C-V特性测试及分析，电容式传感器测试分析
- 技术参数
-
产品型号
TH511
TH512
TH513
通道数
2（可选配4/6通道）
1
显示
显示器
10.1英寸(对角线)电容触摸屏
比例
16:9
分辨率
1280×RGB×800
测量参数
Ciss、Coss、Crss、Rg，四参数任意选择
测试频率
范围
1kHz-2MHz
精度
0.01%
分辨率
10mHz 1.00000kHz-9.99999kHz
100mHz 10.0000kHz-99.9999kHz
1Hz 100.000kHz-999.999kHz
10Hz 1.00000MHz-2.00000MHz
测试电平
电压范围
5mVrms-2Vrms
准确度
±（10%×设定值+2mV）
分辨率
1mVrms 5mVrms-1Vrms
10mVrms 1Vrms-2Vrms
VGS电压
范围
0 - ±40V
准确度
1%×设定电压+8mV
分辨率
1mV 0V - ±10V
10mV ±10V -±40V
VDS电压
范围
0 - ±200V
0 - ±1500V
0 - ±3000V
准确度
1%×设定电压+100mV
输出阻抗
100Ω，±2%@1kHz
数+*-算
与标称值的**偏差Δ，与标称值的百分比偏差Δ%
校准功能
开路OPEN、短路SHORT、负载LOAD
测量平均
1-255次
AD转换时间（ms/次）
快速+：2.5ms(＞5kHz) 快速：11ms 中速：90ms 慢速：220ms
*高准确度
0.5%（具体参考说明书）
Ciss、Coss、Crss
0.00001pF - 9.99999F
Rg
0.001mΩ - 99.9999MΩ
Δ%
±（0.000% - 999.9%）
多功能参数列表扫描
点数
50点，每个点可设置平均数，每个点可单独分选
参数
测试频率、Vg、Vd、通道
触发模式
顺序SEQ：当一次触发后，在所有扫描点测量，/EOM/INDEX只输出一次
步进STEP：每次触发执行一个扫描点测量，每点均输出/EOM/INDEX，但列表扫描比较器结果只在*后的/EOM才输出
图形扫描
扫描点数
任意点可选，*多1001点
结果显示
同一参数、不同Vg的多条曲线；同一Vg、不同参数多条曲线
显示范围
实时自动、锁定
坐标标尺
对数、线性
扫描参数触发方式
Vg、Vd
单次
手动触发一次，从起点到终点一次扫描完成，下个触发信号启动新一次扫描
连续
从起点到终点无限次循环扫描
结果保存
图形、文件
- 附件
| 标配 | |||||
| 配件名称 | 型号 | ||||
| 测试夹具 | TH26063B | ||||
| 测试夹具 | TH26063C | ||||
| TH510夹具控制连接电缆 | TH26063D | ||||
| TH510测试延长线 | TH26063G | ||||
| 选配 | |||||
| 配件名称 | 型号 | ||||