住友臭氧发生器
住友臭氧发生器 应用：
1. 半导体器件
2. Si/复合晶圆
3. FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED）
4. 光罩
5. 发光二极管
住友臭氧发生器 特征：
高浓度；高达400g/m3（N）
19英寸机架尺寸标准型号
丰富的产品线；小容量到大容量
高压耐受，长寿命放电单元
快速启动，快速响应
与臭氧监测仪（闭环控制）集成的稳定浓度
CE、NRTL、半标准适用
管道材料；从316LSS或PFA中选择
具体规格
臭氧气体流速
1L/min to 24L/min [at 210g/m3(N)]
臭氧气体供应压力
*大0.2MPa
冷却水温度
20°C±2°C
氮掺杂比
0.1%(volume)against oxygen
尺寸
W483mm x D453mm x H266mm
重量
30 到 45kg
功率
200-220VAC, 3-phase