住友臭氧发生器
应用：
半导体器件
Si/复合晶圆
FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED）
光罩
发光二极管
具体信息：
臭氧气体流速
300g/㎥(N)
臭氧气体供应压力
140L/min、175L/min、210L/min（200g/㎥(N))
冷却水温度
20°C±2°C
尺寸
W700×D900×H2,154 (140L/min)
冷却水流速比
>48L/min
功率
AC200V 3-phase
优势：
高流量；高达210 l/min
高压耐受，长寿命放电单元
快速启动，快速响应
与臭氧监测仪（闭环控制）集成的稳定浓度