住友臭氧发生仪
应用：
半导体器件
Si/复合晶圆
FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED）
光罩
发光二极管
具体
溶解臭氧浓度
5 to 30ppm
臭氧化超纯水流量
1 to 60L/min
原料气
氧气、二氧化碳
功率
200-220VAC, 3-phase
优势： 根据所需流量改变流量。（降低超纯水消耗量） 多室电源 采用喷射溶解法快速反应。 与臭氧监测仪（闭环控制）集成的稳定浓度 无氮臭氧水 运行成本低（功耗低，易损件数量少，放电单元寿命长） 高压耐受，长寿命放电单元 关闭期间免维护