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产品资料

住友臭氧发生仪

住友臭氧发生仪
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:住友臭氧发生仪
  • 产品型号:SGX-1G215NC
  • 产品展商:其它品牌
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简单介绍
住友臭氧发生仪 住友的臭氧发生器采用平板式放电电池,通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成,以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/(n),是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。 住友臭氧发生仪
产品描述
住友臭氧发生仪

住友的臭氧发生器采用平板式放电电池,通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成,以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/(n),是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。

住友臭氧发生仪



应用:

半导体器件

Si/复合晶圆

FDPLTPSHTPSTFT、彩色滤光片、OLED

光罩

发光二极管

 

具体信息:

臭氧气体流速

5 to 150ppm

臭氧气体供应压力

*大0.25MPa

臭氧化超纯水流量

1 to 90L/min

原料气

氧、氮、二氧化碳

功率

200-220VAC, 3-phase



优势:

浓度高,流量大

占地面积小,紧凑

运行成本低(功耗低,易损件数量少,放电单元寿命长)

高压耐受,长寿命放电单元

快速启动,快速响应

与臭氧监测仪(闭环控制)集成的稳定浓度

CENRTL、半标准适用

关闭期间免维护

无氮臭氧水


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