住友臭氧发生仪
应用：
半导体器件
Si/复合晶圆
FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED）
光罩
发光二极管
具体信息：
臭氧气体流速
5 to 150ppm
臭氧气体供应压力
*大0.25MPa
臭氧化超纯水流量
1 to 90L/min
原料气
氧、氮、二氧化碳
功率
200-220VAC, 3-phase
优势：
浓度高，流量大
占地面积小，紧凑
运行成本低（功耗低，易损件数量少，放电单元寿命长）
高压耐受，长寿命放电单元
快速启动，快速响应
与臭氧监测仪（闭环控制）集成的稳定浓度
CE、NRTL、半标准适用
关闭期间免维护
无氮臭氧水