应用：
半导体器件
Si/复合晶圆
FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED）
光罩
发光二极管
具体信息：
SGRP-03JS
臭氧气体流速
350g/m3(N)
臭氧气体供应压力
15L/min (5L/min x 3Line)
冷却水温度
20°C±2°C
尺寸
W570mm x D850mm x H1,870mm
重量
360kg
功率
200-220VAC, 3-phase
SGRF-03JA
400g/m3(N)
20L/min
5°C
W570mm x D850mm x H1,836mm
350kg
优势：能够通过单独控制向大容量臭氧气体提供一条管线或多条管线。
高浓度；高达400g/m3（N）
产品线丰富；小到大容量。
高压；*大0.3Mpa（SGRP系列）
无氮掺杂（SGRF系列）
高压耐受，长寿命放电单元
快速启动，快速响应
与臭氧监测仪（闭环控制）集成的稳定浓度
CE、NRTL、半标准适用
管道材料；从316LSS或PFA中选择