对于变压器绝缘油，可采用更高的真空度，含水量可降到10ppm。使元件磨蚀、失效;使元件内泻增大、响应不敏捷;使伺服系统的不乱性、控制性降低;使油液氧化速度加快，油液变质。在真空室的中部填有亲油材料，使喷淋下来的油液分散在填充材料表面而形成很薄的油膜，以增大气液两相界面面积，并延长油液在气相空间中停留的时间。操纵简朴利便，可有效地进行脱气、脱水、净化机械杂质，使过滤油液符适用油尺度。
不同的液体有着不同的饱和蒸气压。真空除水的效果主要与工作真空度和油液温度有关。对于液压油，真空度一般在600～700Pa，可使油中的含水量降至100ppm以下。因此，通过抽真空将油液液面的压力降低到水的饱和蒸气压以下时，则油液中的水将发生剧烈的气化，并以蒸汽的形式从油中溢出。在70℃的温度下，水大约在3X104Pa压力下开始沸腾，而油则在5Pa的低压下才能沸腾。在相同的温度下，油的饱和蒸气压比水要低得多。真空度越低，温度越高，除水效果越好。
油液中固体颗粒的存在会严峻污染系统和磨损元件，而磨损在液压系统中会引起很多题目。滤芯采用金属编织网加梯度形超细玻璃纤维过滤纸做过滤材料，过滤精度高、纳污容量大、滤芯寿命长的特点。
通过真空的吸力，油液从顶部进入真空罐内并通过喷嘴喷淋而下，油液中的水分在真空室内气化并被真空泵抽出，除水后的油液从底部排出。
颗粒过滤系统采用过滤器拦阻颗粒的方式来实现。油温一般为60℃左右，温渡过高将加速油液的氧化。
我公司研制的真空脱水滤油机集油液的精密过滤和高效脱水为一体，可有效**油液中的颗粒杂质和乳化水、游离水。
高效真空滤油机是扬州金通电气在引进吸收海内外油净化装置技术的基础上，研制开发的新一代油液净化设备系列之一。
本机采用三级过滤，即泵前吸油滤(120微米)、高效预过滤器(20微米)、高效精滤(3微米)。
油液中水的存在会引起氧化，使油液变质;减小润滑油膜厚度，降低润滑性;引起油液聚合而形成大分子，使液体粘度改变;形成有机酸，侵蚀金属表面;降低或丧失油液介电强度。
真空脱水能够有效去除油液中各种状态的水，并能去除油液中的空气和各种挥发性物质。