中国古代即已应用滤油机于生产，公元前二百年已有植物纤维制作的纸。公元105年，蔡伦改进了造纸法，他在造纸过程中将植物纤维纸浆荡于致密的细竹帘上，水经竹帘缝隙滤过，一薄层湿纸浆留于竹帘面上，干后即成纸张。
*早的过滤大多为重力过滤，后来采用加压过滤提高了滤油机的过滤速度，进而又出现了真空过滤。20世纪初发明的转鼓真空滤油机实现了过滤操作的连续化。此后，各种类型的连续自清洗滤油机相继出现。
间歇操作的自清洗滤油机因能实现自动化操作而得到发展，过滤面积越来越大。为得到含湿量低的滤渣，机械压榨的自清洗滤油机得到了发展。
自清洗滤油机应根据悬浮液的浓度、固体粒度、液体粘度和对过滤质量的要求选用。先选择几种过滤介质，利用过滤漏斗实验，测定不同过滤介质和不同压差下的过滤速度、滤液的固体含量、滤渣层的厚度和含湿量，找出适宜的过滤条件，初步选定自清洗滤油机类型，再根据处理量选定过滤面积，并经实际试验验证。
真空滤油机是在滤液出口处形成负压作为过滤的推动力。这种自清洗滤油机又分为间歇操作和连续操作两种。间歇操作的真空自清洗滤油机可过滤各种浓度的悬浮液，连续操作的真空自清洗滤油机适于过滤含固体颗粒较多的稠厚悬浮液。