软磁合金氢气保护退火主要工艺流程见图1。
02+2H广—-2H20(水蒸汽)
N2+3H—NH3(氨气)
4.常见软磁合金热处理缺陷及对策
5.1真空氢气退火炉为单室加热结构:设备主要包括炉体、真空系统、氢气提纯送气、排气系统及自动控制系统等。炉体由炉壳、炉胆、炉门组成,炉胆一般采用金属屏,以钼带做加热元件;真空系统由一套机械泵和罗茨泵组成;氢气的提纯送、排气系统有氢气流量计控制流量经干燥、过滤、提纯使氢气露点达到.70℃以下送入炉室,氢气进入炉室后根据工艺需要排气设计了两种模式。一种按规定流量连续排出;另一种使氢气在炉室内保留一定时间,然后排出。自动控制系统是以智能化为核心,包括供电、控制、记录、监视、报警保护功能在内的电控系统,能满足复杂的工艺要求,并有故障自诊和监控功能。通过可编程序控制器(PLC)可实现真空炉的全自动运行o
5.3特点