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产品详情
  • 产品名称:SHASHIN KAGAKU 紧凑型探头耐环境性 厚度计

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  • 产品厂商:SHASHIN KAGAKU写真化学
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详情介绍:

紧凑型薄膜厚度监测仪是一种使用小型反射探头的反射分光光度法薄膜厚度计,适用于从实验室级别到生产过程中在线 100% 检查的所有情况。它具有出色的可维护性,可用于集成到工艺设备和生产线管理中。
*多可同时测量 9 种透明薄膜。
它可以用作各种多层薄膜工艺的在线或终点监视器。
紧凑型探头可以安装在工艺工具内部的狭小空间内。也可以使用 EMA 理论来判断混合层的混合比或多晶硅的结晶度。

  • 判断混合层的混合比例
  •  
  • 多晶硅的结晶度
  •  
  • 使用旋涂机检测终点的视频
  1. 带光纤的紧凑型探头
    可以安装在工艺工具内部的狭小空间内。
  2. 膜厚测量 0.1nm(3σ) 的可重复性好
  3. 多层膜厚测量,*高可达 9 层
  4. 材料分析功能
    • 使用 EMA 评估复合材料的混合比
    • 结晶度和光学常数分析
  1. 可选光源
  2. 无线(可选)
  3. 自动映射平台(可选)
    电影 1:Endpoint Monitor 
    演示 1电影 2:Endpoint Monitor 演示 2
  4. 自动映射平台(可选)

建议的系统要求

室温 : 18 至 45 °C
长期 : < ±2.0°C/24小时
短期 : < ±1.0°C/1小时
湿度 : 45±20% (无冷凝时
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