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主营：静摩擦系数测试仪，杂质度过滤机，密封性测试仪，薄膜过滤器，油罐底板焊缝真空检漏盒，可燃气体检测仪，液氨取样器，身高体重测量仪，活性炭装填密度测定仪，浮游生物培养器，二*生物样品转移箱，参比电*，浮游生物网，化学试剂沸点测试仪，不容度指数搅拌器，啤酒饮料二氧化碳测定仪，活性炭强度测定仪，糖化器，着火点测定仪，四氯化碳吸附率测定仪，淀粉含量测定仪，*弯曲梁实验装置，重力式采泥器，电焊条偏心仪，玻璃瓶环切机，炭块取样机，门塞尔土壤比色卡，玻璃应力镜，振实密度测定仪，腐蚀坑深度仪，锅炉水位报警器，液氯采样钢瓶，颗粒强度测定仪，交直流毫伏表，甲苯不容物测定仪，焦炭水分分析仪

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功能薄膜特性测试仪

发布时间：2022-05-27

本测试仪是多用途综合测量装置，开展半导体材料的电阻性能的测试。由四探针测试仪和非晶硅薄膜电导率测量仪组成。四探针测试仪由主机、测试架等部分组成，测试结果由数字表头直接显示。主机主要由高灵敏度直流数字电压表和高稳定度
恒流源组成。非晶硅薄膜电导率测量仪由样品室、温控系统、真空系统、高阻测量系统等部分组成。
测量范围：
电阻范围：1×10⁶～1×10¹⁷Ω；
电阻率：0.001～200Ωcm
电导率：0.005～1000s/cm
可测晶片直径： 200mmX200mm
探针：碳化钨或高速钢
探针间距：1±0.01mm
针间，缘电阻：≥1000MΩ
机械游移率：≤0.3%
本底真空度：≤10Pa
气压可控范围：10～400Pa
衬底加热温度：室温～200℃

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