干式真空泵维修及其分类干式真空泵主要有下列几种形式：
双圆裂片式
双圆裂片式设计和目前*流行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上，一些*早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂，并且每**都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时，为了达到好的真空度，对各级的间隙有非常严格的要求。当然，这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。
三叶圆裂片式
三叶圆裂片式设计和双圆裂片式(干式真空泵维修)设计的原理完全相同，只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量，在传动部分有的厂家选用两个直流马达，但这也会导致扭矩减小，重新启动的能力—下降。同双圆裂片式设计一样，三叶圆裂片式设计的每**都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。
组合式(罗茨+爪)
组合式(罗茨+爪)设计用罗茨(干式真空泵维修)来提高在较低压力下的抽气效率，用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计完全相同。也有些厂家将其*后**改为星型设计，这样可以在旋转一圈中将气体分为五份，就像三圆裂片式设计可以将其分为三份。同样，在很多工艺中，组合式设计的每**都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。
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