(1)真空元件,如阀门、捕集器、除尘器和真空泵等相互联接时,应尽量作到抽气管路短,管道流导大,导管直径一般不小于泵口直径,这是系统设计的一条重要原则。但同时要考虑到安装和检修方便。有时为了防振和减少噪音,允许机械泵设置在靠近真空室的泵房内。
(2)机械泵(包括罗茨泵)有振动,要防止振动波及整个系统,通常用软管减振。软管有金属和非金属的两种,不论采用那种软管要保证在大气压力作用下不被压瘪。
(3)真空系统建成后,应便于测量和检漏。生产实际告诉我们,真空系统在工作过程中,经常容易出现漏气而影响生产。为了迅速找到漏孔,要进行分段检漏,因此每一个用阀门封闭的区间,至少要有一个测量点,以便测量和检漏。
(4)真空系统中配置的阀门和管道,应使系统抽气时间短,使用方便,**可靠。一般在有一个蒸气流泵作为主泵(扩散泵或油增压泵);和一个机械泵作为前级泵的系统上,除了有前级管道(蒸气流泵串联机械泵的管道)外,还应有一个预真空管道(真空室直通机械泵的管道)。其次是在真空室和主泵之间设有高真空阀门(也称主阀),在前级管道上设有前级管道阀(也叫低真空阀);在预真空管道上设置预真空管道阀(称低真空阀)。主泵上的高真空阀门,通常不能在阀盖下为真空状态,而阀盖上为大气压状态下开阀,这要通过电气联锁保证**。前级管道阀和预真空管道阀要考虑到阀本身能在大气压下开阀。以蒸气流泵为主泵的真空系统,主阀要盖向主泵,前级管道阀也要盖向主泵,预真空管道阀盖向真空室。
在机械泵入口管道上,应设一个放气阀门,当机械泵停止工作时,能立即打开此阀,使机械泵入口通入大气,防止机械泵油返流到管路中,因此该阀要和机械泵电气联锁。真空室上也要设置放气阀门,给装料和取料时用。该阀设置的位置要考虑到放气时,气体冲力较大,防止因冲力过大而破坏真空室内的薄弱构件。放气阀的大小与真空室的体积有关,要考虑放气时间不能太长,影响工作。
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