真空泵故障的产生除了零部件失效引起外，动元件之间的间隙变化导致磨损以及油品变质等产生的磨粒息息相关。以下是常见几种磨损类型：
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真空泵故障的几类磨损现象及原因分析
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类型
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磨损便面形态
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磨粒
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发生原因推测
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黏着磨损
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从严重程度分划伤，拉伤，烧结
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大而厚，长小于15UM，厚0.15-1UM，边缘粗糙尖锐，也有熔融金属冷却后的珠状
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接触面过小而造成局部压力过大，油质差而油膜破裂，供油失效，冷却差使局部过热膨胀，金属便面强度差
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磨料磨损
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磨料为大而硬的颗粒造成沿运动方向有直线沟槽，小颗粒造成表面光亮
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切削状如卷曲、螺旋及带状，大颗粒长25-100Um，宽2-5um，小颗粒为几微米
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外部硬颗粒侵入，磨损颗粒侵入，润滑油过滤效果差
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疲劳磨损
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便面片状剥落，有孔穴、空洞、裂痕、有倒锥形麻点坑
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剥落碎片，扁平，外轮廓不规则，*大100um，长/厚为10/1
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表面强度不足或匹配不好，压强过大，油膜强度不够
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腐蚀磨损
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麻坑状点蚀，有的表面变暗，有的经腐蚀表面强度差而被磨去面光亮
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红色氧化物屑，有碎片状，很多成极小悬浮油中
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油降解程度高，进水，操作温度高，环境有腐蚀物，设计不合理造成表面受高速流体冲击
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组装间隙的调整系真空泵维修后重要的一个步骤，由于泵浦元件及数据在磨损后其间隙参数会有所变化，因此不能沿用原始参数，这就需要经验丰富的技术维修师傅把持。因此，选择真空泵维修厂家对于泵浦的后续的使用至关重要。
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