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- 产品名称：Alcatel 阿尔卡特ADP122真空泵维修
- 产品型号：ADP122
- 产品展商：Alcatel 阿尔卡特
- 产品文档：无相关文档
- 发布时间：2018-09-01
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简单介绍
阿尔卡特ADP122真空泵维修
应用：
H 型：针对非常苛刻的工艺
P 型：针对中等工艺
LM 型：针对干净的工艺
优点：
体积小，占地面积小
使用成本低
非常高的性能（抽速以及极限压力）
在苛刻环境下出色的运行效果
易于一体化
先进的监控功能 （待机状态可减少N2 的消耗量，断电保护）
SEMI S2-93 标准的兼容性（可选）
产品描述
阿尔卡特ADP122真空泵维修
应用：
H 型：针对非常苛刻的工艺
P 型：针对中等工艺
LM 型：针对干净的工艺
优点：
体积小，占地面积小
使用成本低
非常高的性能（抽速以及极限压力）
在苛刻环境下出色的运行效果
易于一体化
先进的监控功能 （待机状态可减少N2 的消耗量，断电保护）
SEMI S2-93 标准的兼容性（可选）
通过减小气体经过的中间腔的容积
通过在泵的每**进行 N2 吹扫从而稀释工艺气体（P 和H 型）
通过调节真空泵的温度使其符合各个工艺，从而限制气体在泵内的冷凝（P 和H 型）
多级罗茨的工作原理：
ADP 真空泵由5 级罗茨组成。两个转子旋转时互不接触。
ADP 122，共有2 个型号
ADP 122 P: 和外部的密闭机架一体化，包含：泵，监控系统，手动遥控器，水电气设施接
口，流量计面板，OEM 接口和串口连接等。
ADP 122 LM: 简化后的带监控系统的型号，用于干净的工艺（load-lock 和transfer chamberpumping）。
阿尔卡特干泵的设计可将潜在沉积物*小化：
通过减小气体经过的中间腔的容积
通过在泵的每**进行 N2 吹扫从而稀释工艺气体（P 和H 型）
通过调节真空泵的温度使其符合各个工艺，从而限制气体在泵内的冷凝（P 和H 型）
多级罗茨的工作原理：
ADP 真空泵由5 级罗茨组成。两个转子旋转时互不接触。
ADP 122，共有2 个型号
ADP 122 P: 和外部的密闭机架一体化，包含：泵，监控系统，手动遥控器，水电气设施接
口，流量计面板，OEM 接口和串口连接等。
ADP 122 LM: 简化后的带监控系统的型号，用于干净的工艺（load-lock 和transfer chamberpumping）。
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