COSMOS新宇宙半导体气体检测仪XPS-7葛经理
ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、1台で様々な半導体材料ガスを検知可能です。
カセット式センサユニットなのでガス検知器の校正が不要、メンテナンスの時間とコストを削減できます。
重さわずか1.3kgの小型軽量タイプです。
ガス濃度の変化により、警報音(断続音)のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易です。
半導体工場など毒性ガスを使用する現場で、ガス漏洩検査や濃度測定に。
ガス採気方式：自動吸引式
ジシラン：FS/25p
幅(mm)：62
奥行(mm)：128
高さ(mm)：150
アンモニア：FS/100ppm
シラン：FS/25ppm
ジクロルシラン：FS/25ppm
アルシン：FS/250ppb
ホスフィン：FS/1.0ppm
ジボラン：FS/500ppb
セレン化水素：FS/250ppb
ゲルマン：FS/1.0 ppm
塩素：FS/5ppm
三フッ化塩素：FS/1.0ppm
塩化水素：FS/25ppm
フッ化水素：FS/10ppm
臭化水素：FS/10ppm
一酸化窒素：FS/100ppm
硫化水素：FS/50ppm
一酸化炭素：FS/250ppm
1.3ｋｇ
ショルダーベルト
単3形アルカリ乾電池4本
フィルタエレメント2枚