SIMCO-ION思美高静电离子风棒5635兼容棒型离子发生器
拡張ISO Class1,10nmについて微小パーティクル管理に対応するためION Systemsにて独自に定めたクリーン度の定義です。ISO14644-1は*小粒径100nmにて定義されています。拡張ISO Class1,10nmとはISO14644-1と同じ許容パーティクル数の算出式を用いており、その許容パーティクル数は10nm以上の粒径にて1200pc/m3(34 pc/ft3)となります