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SIMCO-ION思美高4635局部清洁静电消除离子发生器
SIMCO-ION思美高4635局部清洁静电消除离子发生器
SIMCO-ION思美高4635局部清洁静电消除离子发生器
SIMCO-ION思美高4635局部清洁静电消除离子发生器
製品情報
モデル4635クアッドバーは、従来のモデル4630/4632に更なる磨きを掛け、除電性能と使い易さを向上させた高クリーンイオナイザーです。レチクル用等、限られたスペース及びエアフロー環境における除電に適します。
特長
■独自のIsoStat方式によるイオンバランス自動調整を採用。調整作業は不要です
■供給電源は24V DC及び24V ACに対応
■単結晶シリコン電極の為、高クリーンかつ半導体デバイスにも**
■7.6cmの*小設置距離とコンパクトサイズが自在な設置レイアウトを実現
■新設計のパージエア流路は長距離、高速除電化を実現
仕様
イオン発生方式
コロナ放電式 ステディーステートDC方式
電極
単結晶シリコン(交換可能)
クリーン度
ISO Class 1(24V DC) ISO Class 2(24V AC)
対応パージガス
クリーンドライエア 及びN2
エア接続
4mm内径配管
エア流量
~25LPM
入力電圧
24V AC +/-5%, 50/60hz, 0.1A typ
24V DC +/-5% 0.025A typ
除電時間
15LPMエアパージにて<15sec, 30cm距離
(スタンダードカートリッジ)
15LPM エアパージにて <6sec, 30cm距離
(ジェットクロスチャンネルカートリッジ)
イオンバランス
+/-20v 15cm距離
連結可能数
14-1535トランス使用時 *大4台
4030コントローラ使用時 *大 15台
寸法
高さ33mm x 幅33mm x 長さ91mm
除くエア接続部
重量
108g
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