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MITUTOYO三丰视觉测量机QUICK VISION HYBRID TYPE1 APEX带非接触式位移传感器

非接触変位センサを搭載しスキャニング機能により微細段差や3 D 形状測定を可能にした複合測定機です

主な

特長

非接触変位センサを搭載しスキャニング機能により微細段差や3D形状測定を可能にした複合測定機です。
変位センサの検出方式にダブルピンホール方式を採用しました。ナイフエッジ式や三角測量方式と比較して指向性のない測定が可能です。
レーザスポット径が約2 μmと小さいため微細な形状測定が可能です。
仕様
符号 QVH1-X302P1L-D QVH1-X404P1L-D QVH1-X606P1L-D
測定範囲(XxYxZ)(mm)
300×200×200
400×400×250
600×650×250
*小表示量(µm)
0.1
0.1
0.1
変位センサ画像共通測定範囲(XxYxZ)mm(HYBRID TYPE1)
180×200×200
280×400×250
480×650×250
測定精度(E1XY軸)(um)
（1.5＋3L/1000）
（1.5＋3L/1000）
（1.5＋3L/1000）
測定精度(E1Z軸)(um)
（1.5＋4L/1000）
（1.5＋4L/1000）
（1.5＋4L/1000）
測定精度(E2XY平面)(um)
（2.0＋4L/1000）
（2.0＋4L/1000）
（2.0＋4L/1000）
変位センサ(E1Z軸)(um)
（1.5＋4L/1000）
（1.5＋4L/1000）
（1.5＋4L/1000）
カメラ
CCD白黒カメラ
CCD白黒カメラ
CCD白黒カメラ
観察装置
プログラム制御パワータレット　1X-2X-6X
プログラム制御パワータレット　1X-2X-6X
プログラム制御パワータレット　1X-2X-6X
照明垂直落射照明
白色LED
白色LED
白色LED
照明透過照明
白色LED
白色LED
白色LED
照明リング照明
白色LED
白色LED
白色LED
使用空気圧(MPa)
0.2
0.2
0.2
精度保証光学条件
対物レンズ2.5x(パワータレット2x)
対物レンズ2.5x(パワータレット2x)
対物レンズ2.5x(パワータレット2x)
精度保証温度(℃)
20±1
20±1
20±1
精度保証温度変化(℃/H)
2/8
2/8
2/8
測定物 *大積載質量(kg)
20
40
50
本体質量(設置台含む)(kg)
370
589
1460
載物ガラス寸法(mm)
399×271
493×551
697×758
本体外観寸法(WxDxH)(mm)
859×951×1609
1027×1407×1778
1309×1985×1794
QVH1-X302P1L-D QVH1-X404P1L-D QVH1-X606P1L-D

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