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MITUTOYO三丰HYPER QUICK VISION WLI带有白光干涉仪的视觉测量机

拡大撮像により、測定物の微細形状を測定します
主な特長
Hyper QVWLIはQVに白色光干渉計を搭載した複合型の高
精度3D計測システムです。
WLI 光学系で取得した3Dデータから三次元表面性状解析/
三次元粗さ解析が可能です。
3Dデータから指定高さでの寸法測定や断面形状の測定が可能です。
仕様
符号 QVW-H302P1L-D QVW-H404P1L-D QVW-H606P1L-D
測定範囲(XxYxZ)(mm)
300×200×190
400×400×240
600×650×220
*小表示量(µm)
0.01
0.01
0.01
WLI画像共通測定範囲(XxYxZ)(mm)
215×200×190
315×400×240
515×650×220
測定精度(E1XY軸)(um)
（0.8＋2L/1000）
（0.8＋2L/1000）
（0.8＋2L/1000）
測定精度(E1Z軸)(um)
（1.5＋2L/1000）
（1.5＋2L/1000）
（1.5＋2L/1000）
測定精度(E2XY平面)(um)
（1.4＋3L/1000）
（1.4＋3L/1000）
（1.4＋3L/1000）
カメラ
CCD白黒カメラ
CCD白黒カメラ
CCD白黒カメラ
観察装置
プログラム制御パワータレット　1X,2X,6X系
プログラム制御パワータレット　1X,2X,6X系
プログラム制御パワータレット　1X,2X,6X系
照明垂直落射照明
白色LED
白色LED
白色LED
照明透過照明
白色LED
白色LED
白色LED
照明リング照明
白色LED
白色LED
白色LED
照明 WLIヘッド_垂直落射照明
ハロゲン
ハロゲン
ハロゲン
温度補正機能
自動温度補正
自動温度補正
自動温度補正
使用空気圧(MPa)
0.4
0.4
0.4
精度保証光学条件
対物レンズ2.5x(パワータレット2x)
対物レンズ2.5x(パワータレット2x)
対物レンズ2.5x(パワータレット2x)
精度保証温度(℃)
20±1
20±1
20±1
精度保証温度変化(℃/H)
0.5/1
0.5/1
0.5/1
測定物 *大積載質量(kg)
15
25
35
本体質量(設置台含む)(kg)
490
1160
2275
載物ガラス寸法(mm)
399×271
493×551
697×785
本体外観寸法(WxDxH)(mm)
859×951×1609
1027×1407×1780.5
1309×1985×1792

QVW-H302P1L-D QVW-H404P1L-D QVW-H606P1L-D

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