■固定搬送 クランプして搬送することで、あらゆる搬送姿勢に対応可能です。装置の高速化に伴う芯ズレを防止します。 ■ ウエハ表裏に対して非接触 エッジのみに接触し、クランプ・吸着搬送に伴うパッド痕の心配がありません。 ■ クリーン度クラス1対応 ■WHA シリーズ サイドアームのみの片側駆動式エッジクランプ
型式
ＷＨＡ-200ＡＳ
ＷＨＡ-300ＡＳ
ＷＨＡ-450ＡＳ
搬送ワーク
ウエハ
ワークサイズ
φ200
φ300
φ450
搬送方式
エッジクランプ
搬送枚数
１枚
駆動方式
閉方向
スプリング（クランプ方式）
開方向
バーキューム圧－60KPa ～95KPa （負圧シリンダ採用）
動作ストローク
10 ㎜ （クランプ7㎜ クランプシロ3㎜）
把持力
２ ．４Ｎ ～１．９Ｎ
約７N
クリーン度
FED 規格 クラス１ （吸引要）
フォーク材質
ＣＦＲＰ
駒・仮受け座・パット
ＰＥＥＫ
本体重量
約0.4Kg
約0.5Kg
約1.7Kg
オプション
開閉確認センサー