■吸着・エッジクランプ・おとしこみ各方式特殊対応実績豊富。 ■ ウエハご希望搬送枚数を一括搬送できるユニットを設計製作いたします。 事例 ・5枚一括搬送ユニット ・25枚一括搬送ユニット
クリーン梱包はしておりません。
型 式 ＷＨＢ－□□□ＡＳ‐ □□ 搬送ワーク ウエハ ワークサイズ φ300 //φ450 搬送方式 3 種類（ おとしこみ・吸着・エッジクランプ） 搬送枚数 2 枚～ 25枚 駆動方式 閉方向 ※詳細につきましては特殊仕様のためお問い合わせください 開方向 動作ストローク 把持力 クリーン度 フォーク材質 ＣＥＲＰ 駒・仮受け座・パット ＰＥＥＫ 本体重量 約19 ㎏（φ300 の25枚搬送ユニット参考） オプション 開閉確認センサー
型 式
ＷＨＢ－□□□ＡＳ‐ □□
搬送ワーク
ウエハ
ワークサイズ
φ300 //φ450
搬送方式
3 種類（ おとしこみ・吸着・エッジクランプ）
搬送枚数
2 枚～ 25枚
駆動方式
閉方向
※詳細につきましては特殊仕様のためお問い合わせください
開方向
動作ストローク
把持力
クリーン度
フォーク材質
ＣＥＲＰ
駒・仮受け座・パット
ＰＥＥＫ
本体重量
約19 ㎏（φ300 の25枚搬送ユニット参考）
オプション
開閉確認センサー