INFICON晶振片使用方法:质量和寿命不仅影响速率和厚度测量的准确性,更重要的是还决定着受控制的过程能否成功完成。INFICON石英晶体具有经过实践验证的**品质和可靠性,其在各种材料、应用和行业中的无数次成功的过程运行充分证明了这一点。 选用*合适的晶振片,金是*广泛使用的传统材料,它具有低接触电阻,高化学稳定性,易于沉积。*适合用于低应力材料,如Al、 Au、Ag、Cu。银是接近**的电极材料,有非常低的接触电阻和优良的塑变性。然而容易硫化,硫化后的银接触电阻高,降低晶振片上膜层牢固。银铝合金适合高应力膜料的镀膜监控;所以使用镀银或银铝合金镀高应力膜,如:Ni、 Cr、 Mo、 Zr、 Ni-Cr、 Ti等。使用银铝合金晶振片镀介质光学膜,如:MgF2、 SiO2、 Al2O3、 TiO2等。
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