真空计分类原理介绍

   按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。
   利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。
波尔登规
   细的铜管受气体压力不同会有舒展现象，会带动杠杆和齿轮旋转，使得指针指示在不同刻度上，即可读出相应的气压值。
   这种规的测量范围一般在100Pa至1atm。
薄膜电容规
   在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形，使得金属膜片和电极之间的电容变化，通过测量电容的变化量，即可知道金属膜片上气压的变化。
   这种规的测量范围一般横跨4个量级，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
   这种规的优点是灵敏度很高。缺点是必须在高于环境温度的恒温条件下使用，以消除温度不同对膜片力学性能的影响，使用前一般需要预热数小时。
皮拉尼电阻规
   皮拉尼电阻规也叫做热电阻真空计，它是利用电阻与温度之间关系的原理工作的。
   由于不同气压下气体分子热传导能力不同，当给热丝加恒定的电流时，由于气压不同通过气体传导走的热量不同，热丝所保持的温度就不同，这导致热丝电阻大小不同，通过测量热丝电阻大小就可以推算气压大小。
   如果配合电桥测量热丝电阻的变化，将有效提高测量的准确度。
   这种规的测量范围一般在0.1Pa至1000Pa。
   由于不同气体在相同气压时导热性不同，所以这种规需要在不同的使用气体下标定。
热电偶规
   热电偶规与皮拉尼电阻规基本原理一致，只是它不用测量热丝电阻的变化，而是用热电偶直接测量热比的温度变化。
   测量范围一般与在0.1Pa至1000Pa。
   与皮拉尼电阻规一样，这种规也需要在不同的使用气体下标定。
热阴极电离规
   热阴极电离规中，由热阴极即灯丝发射电子，电离真空中的气体分子，产生离子，由收集极收集产生的离子，形成离子电流，通过测量离子电流的大小即可推算出真空中气体分子的密度，进而得到气压大小。
   这种规的测量范围一般为1.0E-05Pa至0.1Pa。
   经改进后的热阴极电离规，Bayard-Alpert规，可以将测量下限降低至1.0E-09Pa。
   由于不同气体在相同气压下的电离率不同，这种规在使用时也需要在不同气体下进行标定。
冷阴极电离规
   冷阴极电离规也是通过电离气体分子收集离子电流的方法进**压测量，但与热阴极电离规不同的是，它是利用磁控放电电离气体分子产生离子。
   这种规的测量范围一般为1.0E-07Pa至0.1Pa。