INFICON四极质谱分析仪的核心是四极电极，直流电压和高频交流电压重叠±(U+Vcostω)，U是直流电压，V是交流电压。离子源产生的离子经过5～10V加速后沿z方向入射，受到高频电压作用后一边在x和y方向振动一边沿z方向前进。离子质荷比和交流电压的关系为
式中 K———常数；
V———高频电压的振幅(几kV～10kV)；
f———高频电压的频率(通常1MHz～几 MHz)；
r0———四极电极内接圆的半径(通常几mm～7mm)。
因此扫描交流电压后，对应质荷比的离子才能穿过四极电极，*终到达离子检测器。四极质谱仪的主要参数为检测质量范围、感度和扫描速度。
即使是超高真空腔体，也会由于漏气、透气和真空中物体的气体放出等原因，造成腔体内有多种残留气体。
使用四极质谱仪检漏，也同样可以像氦质谱仪那样从外部吹氦气，如果存在漏点，则分析结果中氦气对应的峰值会迅速升高。
上述检漏是比较**的方法，如果没办法使用氦质谱检漏仪真空检漏或四极质谱仪真空检漏，则可以使用酒精进行简单的检漏。用注射器向要检测的部位喷射少量酒精，同时观测真空计的显示变化。如果该部位漏气，则真空计的显示数值会发生突然变化。
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