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- 产品名称：inficonPEG100真空计
- 产品型号：inficonPEG100真空计
- 产品展商：英福康
- 发布时间：2017-05-19
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简单介绍
NFICON 潘宁PEG100型真空计提供可靠的高真空测量。 坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现灯丝烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低，真空计还可在溅射应用环境下运行。 现场总线选件，除了对数模拟输出信号外，允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议将真空计轻松集成到真空系统中。inficonPEG100真空计inficonPEG100真空计
产品描述
益处
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测量范围广，从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴（7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托）
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全金属冷阴极传感器（潘宁），带陶瓷馈入装置
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**的电极几何形状提供**的点火属性
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等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险，即使在有氩气的溅射运行中
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阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换
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*小化真空计附近的磁场强度
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用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器
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对数模拟输出信号
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现场总线接口（Profibus DP、DeviceNet）允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中
典型应用
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高真空压力监控
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蒸发溅射系统
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高真空范围内的一般真空测量和控制
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规格
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类型
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PEG100
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测量范围
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1 x 10-9 to 1 x 10-2
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精度
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10-8 至 10-4 毫巴
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% of reading
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±30
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压力，*大（**）
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bar
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10
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温度
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运行（环境）
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°C
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+10 to +50
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贮存
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°C
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-20 to +75
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无电子设备，烘烤
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°C
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350
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带电子元件，在法兰处烘烤
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°C
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70
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供应
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电压
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V (dc)
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14.5 to 36
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消耗，*大
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W
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<2
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输出信号模拟
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输出信号
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V
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0 to 10.6
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测量范围
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V
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0.66 to 10
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电压与压强之间的关系
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volts per decade
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1.333
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连接器
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FCC 68, female, 8 pin (shielded)
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电缆长度，*大（模拟）
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m (ft.)
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100 (330)
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暴露于真空的材料
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Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti
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内部容积
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cm³ (in.³)
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21 (1.28)
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重量，接近
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g
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500
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保护类型
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IP40
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DeviceNet™
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设备类型
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generic
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显示对等网络传讯
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no
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I / O 对等传讯
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|
no
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配置一致性值
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no
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默认节点恢复
|
|
no
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波特率
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kBaud
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125 / 250 / 500
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主板 / 扫描器
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|
no
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I / O 从属传讯： 位触发
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|
yes
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I / O 从属传讯： 轮询
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|
yes
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I / O 从属传讯： 周期
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|
yes
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|
I / O 从属传讯： 状态改变 (COS)
|
|
yes
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DeviceNet™ 电源
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V (dc)
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11 to 25
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DeviceNet™ 连接器
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Phoenix Combicon, 5 pin
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Profibus DP
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支持的波特率（自动检测）
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kBaud
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9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 / 1500
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扩展的用户参数数据
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byte
|
5
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配置： 输入输出数据数量
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|
2
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同步模式和冻结模式
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|
Yes
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Profibus 的连接器
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D-sub, 9 pin
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