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- 产品名称：inficonBAG402
- 产品型号：inficonBAG402
- 产品展商：英福康
- 发布时间：2018-07-23
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简单介绍
inficonBAG402益处
测量范围从 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr）
出色的可重复性，在 10-8 … 10-2 mbar 工艺压力范围内为 5%
过压检测保护，防止灯丝烧毁
两根长寿命氧化铱灯丝
发射电流选择，降低控制的繁琐
植入校准数据的传感器元件可确保规管的高精准性，并且易于更换
符合RoHS
inficonBAG402典型应用
半导体工艺和传送腔室的压强测量
工业镀膜
从低真空到超高真空范围的普通真空测量及控制
产品描述
inficonBAG402益处
-
测量范围从 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr）
-
出色的可重复性，在 10-8 … 10-2 mbar 工艺压力范围内为 5%
-
过压检测保护，防止灯丝烧毁
-
两根长寿命氧化铱灯丝
-
发射电流选择，降低控制的繁琐
-
植入校准数据的传感器元件可确保规管的高精准性，并且易于更换
-
符合RoHS
inficonBAG402典型应用
-
半导体工艺和传送腔室的压强测量
-
工业镀膜
-
从低真空到超高真空范围的普通真空测量及控制
inficonBAG402规格
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类型
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BAG402
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测量范围 (空气, 氧2, 一氧化碳, 氮2)
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5×10-10 … 2.7×10-2
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精度
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10-8 … 10-2 毫巴
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% of reading
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±15
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重复性
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10-8 … 10-2 毫巴
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% of reading
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5
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除气 (1)
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p < 7.2 × 10-6
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mbar
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electron bombardment, max. 3 min
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压强, *大
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bar (absolute)
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2
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温度
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操作 (环境)
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°C
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0 … +50
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储存
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°C
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-20 … +70
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法兰口的烘烤，不带BPG402-S电子单元
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°C
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80
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供电电压
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+20 … +28
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输出信号模拟 (4)
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输出信号
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V
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0 … +10
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测量范围 log / lin
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V
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0 … +9
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电压 vs. 压强
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volts per decade
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1
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错误信号
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V
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> +10
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负载阻抗, *小
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kΩ
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10
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**模拟输出
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none
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设点继电器
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设定点数量
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|
none
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范围
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继电器触点
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滞后
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触点额定值
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数字功能
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degas and emission
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接口 (数字) (2)
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Diagnosis port
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发射控制
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manual
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灯丝
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two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)
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灯丝状态 / 继电器
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LED / relay
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电气连接
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D-Sub, 9-pin, male
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电缆长度，*大值
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m (ft.)
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100 (330)
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暴露于真空中的材料
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Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
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内部容积 KF / CF
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cm³ (in.³)
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24 (1.46) / 34 (2.1)
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重量 KF / CF
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g
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450 / 710
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保护级别
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IP30
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1）除气期间准确性降低
2）不可同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和现场总线
inficonBAG402inficonBAG402
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